本產(chǎn)品為桌面型小型蒸發(fā)鍍膜儀，可提供*大100A的鍍膜電流，*大蒸發(fā)溫度可達(dá)1800℃，能夠滿足各種常見(jiàn)金屬及部分非金屬的蒸鍍。真空腔體采用高純石英制作，具有便于觀察鍍膜過(guò)程，易于清洗的優(yōu)點(diǎn)；配合分子泵組可達(dá)到5x10^-4Pa極限真空，能夠有效保證蒸鍍薄膜的純凈度和結(jié)合力。

小型蒸發(fā)鍍膜儀技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	桌面型石英腔體蒸發(fā)鍍膜儀
產(chǎn)品型號(hào)	CY-EVZ180-I-H-Q
樣品臺(tái)	外形尺寸	直徑φ60mm
	轉(zhuǎn)速	≦20rpm
	至蒸發(fā)源間距	60～100mm 連續(xù)可調(diào)
熱蒸發(fā)源	有機(jī)蒸發(fā)源（石英舟和鎢絲發(fā)熱源）
蒸發(fā)電源	每個(gè)蒸發(fā)源配一組獨(dú)立電源
真空腔體	腔體尺寸	直徑φ180mm，高度200mm
	觀察窗口	直徑φ60mm
	腔體材質(zhì)	高純石英
	開(kāi)啟方式	上開(kāi)啟式
膜厚測(cè)量	晶體膜厚測(cè)量?jī)x（也可選膜厚控制儀）
真空系統(tǒng)	前級(jí)泵	雙極旋片泵，氣體抽速1.1L/S
	次級(jí)泵	渦輪分子泵,氣體抽速600L/S
	真空測(cè)量	復(fù)合真空計(jì)(電離規(guī)+電阻規(guī))
	系統(tǒng)真空	5×10-4Pa
控制系統(tǒng)	CYKY自研專業(yè)級(jí)控制器
其他參數(shù)	供電電源	AC220V,50Hz
	整機(jī)尺寸	600mm×600mm×750mm
	整機(jī)功率	1200W
	整機(jī)重量	40kg