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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱(chēng):小型二合一鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號(hào):CY-EVS180G-LV
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
等離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀配備了直流濺射靶和熱蒸發(fā)組件,不但可以用于等離子濺射方式鍍金屬膜,也可以用蒸發(fā)的方式得到碳或者其他金屬單質(zhì)的薄膜。
詳情介紹:

等離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀配備了直流濺射靶和熱蒸發(fā)組件,不但可以用于等離子濺射方式鍍金屬膜,也可以用蒸發(fā)的方式得到碳或者其他金屬單質(zhì)的薄膜。儀器元件高度集成化,在同一個(gè)腔體內(nèi)即實(shí)現(xiàn)了兩種鍍膜功能;本鍍膜儀采用高純石英腔體作真空腔體,鍍膜過(guò)程完全可見(jiàn)。儀器標(biāo)配雙極旋片真空泵,能夠快速達(dá)到1.0E-1Pa的真空度,可滿足大多數(shù)蒸發(fā)鍍膜實(shí)驗(yàn)和二極濺射實(shí)驗(yàn)所需的真空環(huán)境。本儀器體積小,節(jié)省空間,能夠置于試驗(yàn)臺(tái)上使用,一機(jī)多用,性?xún)r(jià)比突出,非常適合各大高校及研究機(jī)構(gòu)選用。

小型二合一鍍膜儀適用范圍:

掃描電鏡樣品表面噴金、蒸金噴碳等操作,以及非導(dǎo)體材料試驗(yàn)電極的制作等。

小型二合一鍍膜儀技術(shù)參數(shù):

小型二合一鍍膜儀

樣品臺(tái)

尺寸

φ80mm

至蒸發(fā)源間距

20mm~50mm可調(diào)

直流濺射頭

數(shù)量

2”×1

蒸發(fā)系統(tǒng)

蒸發(fā)源

鎢絲籃

*高溫度

1700

熱電偶

S型熱電偶

真空腔體

腔體尺寸

φ180mm×150mm

觀察窗口

全向透明

腔體材料

高純石英

開(kāi)啟方式

頂蓋拆卸式

真空系統(tǒng)

機(jī)械泵

旋片泵

抽氣接口

KF16

真空測(cè)量

電阻規(guī)

排氣接口

KF16

極限真空

1.0E-1Pa

供電電源

AC;220V 50/60Hz

抽氣速率

旋片泵:1.1L/S

濺射電源配置

數(shù)量

直流電源×1

*大輸出功率

150w

其他

供電電壓

AC220V,50Hz

整機(jī)尺寸

360mm×300mm×470mm

整機(jī)功率

1.5kw

整機(jī)重量

20kg


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