石墨烯制備爐的主要技術(shù)參數(shù)：
溫度范圍：室溫~1050度
整機(jī)功率：2.5 kW
末端口為：不銹鋼法蘭接口，外置水冷卻
進(jìn)樣方式為：手動
氣體成分有：
Ar：純度99.999%以上，40L，配惰性氣體減壓閥，流量0-1000 sccm；
H2：純度99.999%，40L，配氫氣減壓閥，流量0-200 sccm；
CH4：純度99.999%，40L，配減壓閥，流量0-10 sccm   (更大量程可選)；
13CH4：純度99% (1%為12CH4)，10L，配專用減壓閥，流量0~10 sccm (同位素選件)；
該系統(tǒng)的溫度、氣流及真空采用計(jì)算機(jī)控制，其中部分功能也可以采用手動控制。石墨烯制備爐采用計(jì)算機(jī)實(shí)時(shí)控制和顯示所有與生長有關(guān)的實(shí)驗(yàn)參數(shù)，自動保存實(shí)驗(yàn)參數(shù)，給實(shí)驗(yàn)帶來極大的方便，并提高實(shí)驗(yàn)的**性。