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產品詳情
  • 產品名稱:全自動超聲波氣氛加熱勻膠機

  • 產品型號:CY-SPC12T-SS-UL
  • 產品廠商:成越科儀
  • 產品文檔:
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簡單介紹:
超聲波氣氛加熱勻膠機是一款直徑300mm、靈活的旋轉勻膠設備,可通過超聲波噴頭把膠液噴灑在基片上,進而通過高速旋轉使得膠液均勻涂覆在基片上。加熱勻膠機也可以單獨進行旋涂操作
詳情介紹:

    超聲波氣氛加熱勻膠機是一款直徑300mm、靈活的旋轉勻膠設備,可通過超聲波噴頭把膠液噴灑在基片上,進而通過高速旋轉使得膠液均勻涂覆在基片上。也可以單獨進行旋涂操作。腔體內布有加熱元件,可在勻膠后進行烤膠操作。產品帶有兩路浮子流量計控制的氣路,可將惰性氣體通入腔體內,在勻膠時保護膠液不收空氣中的氣體影響。 此款勻膠機適用于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝、制版的表面涂覆??蓜蚰zzui大圓晶尺寸為12英寸,轉速可達3000rpm,加速度可達2000rpm;具有轉速穩(wěn)定,啟動迅速,操作方便等優(yōu)點,并能保證勻膠厚度的一致性和均勻性,是一款性能優(yōu)良的產品.

加熱勻膠機產品特征:

  1. 采用直流無刷電機,單片機控制

  2. 高清晰觸摸屏控制

  3. 可進行單步多步勻膠操作,可存儲五種程序,每種程序可設置五步操作

  4. 防堵膠設計

  5. 鋁合金腔體,堅固耐用

  6. 帶有超聲波,氣氛,加熱等多種輔助功能,為勻膠研究進行多種輔助

超聲波氣氛加熱勻膠機產品參數(shù):

 

產品名稱

超聲波輔助氣氛勻膠機

產品型號

CY-SPC12T-SS-UL

勻膠機

圓晶尺寸

12英寸

旋轉速度

30~3000rpm可調

旋轉加速度

30~2000rpm/s可調

單次*長勻膠時間

3000s

勻膠腔體尺寸

φ390mm*90mm

電壓

220V 50Hz

功率

1.5KW

加熱溫度

0-100

質保時間

易損件除外,1年,終身技術支持

勻膠機真空吸盤

12寸 一個(標配);6寸 一個(定制)

勻膠機定制純機械卡盤

12英寸 一個(額外定制);6英寸 一個(額外定制)

無油真空泵

型號:AP-2000V

功率:0.55kw

*低真空度:-700mmHg;-92Kpa

*大空氣流量:200L/min12M3/h

重量:10kg

超聲波系統(tǒng)

霧化頭材質

鈦合金

頻率

50kHz

功率

30W

流量

0.55mL/s

微粒直徑

25um

霧化頭類型

錐型

霧化頭重量

0.3kg

超聲波電源尺寸

315*312*135mm

超聲波電源重量

5kg

注射泵

流量范圍

0.001uL/min-43.349mL/min

掉電記憶工能

保存設置參數(shù),重新上電后,無需設置

適用進樣器規(guī)格

10uL-1000uL

適用注射器規(guī)格

1mL-60mL

加熱溫度

0-100

線速度范圍

5um/min-65um/min

線速度調節(jié)分辨率

5um/min

*大行程

140mm

行程分辨率

0.156um

額定線性推力

90N

流量計

控制氣體種類

2

氣體流速

16-160mL/min

豫公網(wǎng)安備 41019702002438號

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