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等離子清洗機(jī)(plasma cleaner)，是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)，并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子清潔機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、涂覆等目的。
等離子清洗機(jī)除了具有清洗功能外，在特定條件下還可根據(jù)需要改變某些材料表面的性能，在清洗過程中，小型等離子清洗機(jī)的輝光放電可以加強(qiáng)這些材料的粘附性、相容性和浸潤(rùn)性。
這款等離子清洗機(jī)適合于實(shí)驗(yàn)室和小型生產(chǎn)。采用13.56Mhz的射頻電源，能夠用來匹配各種常用氣體的等離子體。射頻電源的功率從100W到1000W之間有多種常用規(guī)格可供選配，能夠滿足用戶的多樣化需求。
技術(shù)參數(shù)：
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主要部件 |
指標(biāo)名稱 |
參數(shù)指標(biāo) |
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清洗倉(cāng)體 |
清洗倉(cāng)材質(zhì) |
不銹鋼 |
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清洗倉(cāng)尺寸 |
195mm x 300mm x240mm |
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射頻電源 |
電源特性 |
該電源為全固態(tài)射頻電源，采用高穩(wěn)定高可靠的功放模塊和直流模塊，有效保障了電源的射頻功率輸出。采用高質(zhì)量的電子元器件，使產(chǎn)品的可靠性得以保證。 |
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電源優(yōu)勢(shì) |
●可長(zhǎng)時(shí)間正常運(yùn)行
● 電源效率高、發(fā)熱少 |
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射頻功率 |
0~500W連續(xù)可調(diào) |
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信號(hào)頻率 |
13.56MHz ±0.005% |
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反射功率 |
≤100W |
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功率穩(wěn)定度 |
±0.1% |
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射頻接頭 |
N型頭 |
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整機(jī)效率 |
≥75% |
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諧波分量 |
≤-50 dBc |
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冷卻方式 |
強(qiáng)制風(fēng)冷 |
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氣體測(cè)量 |
測(cè)量部件 |
浮子流量計(jì) |
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氣體通道 |
兩通道 |
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A通道量程 |
10～100ml |
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B通道量程 |
16～160ml |
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真空獲取 |
真空測(cè)量 |
數(shù)字真空計(jì)（電阻規(guī)） |
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真空抽取 |
分子泵組 |
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抽氣速率 |
旋片泵1.1L/s 分子泵600L/s |
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極限真空 |
1.0E-4Pa |
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管道接口 |
進(jìn)氣口：φ8快擰接頭; 抽氣口KF40/KF16 |
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連接管道 |
KF40真空波紋管 |
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電機(jī)功率 |
400W/1.5KW |
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其它 |
供電電源 |
AC220V 50/60Hz |
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整機(jī)功率 |
1000W |
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使用溫度 |
-10℃ -- 40℃ |
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工作真空 |
≤40Pa |
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整機(jī)尺寸 |
650mmX650mmX550mm |
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整機(jī)重量 |
90kg |
應(yīng)用領(lǐng)域：
金屬：去除金屬表面的油脂,油污等有機(jī)物及氧化層；
汽車制造：用于汽車制造過程中的塑料和噴漆前處理；
紡織品生產(chǎn)：用于紡織品,濾網(wǎng)和薄膜的親水性,疏水性和表面改性處理；
生物醫(yī)療：培養(yǎng)皿提高活性，血管支架，注射器，導(dǎo)管和各種材料的親潤(rùn)，交合涂覆前處理；
航空航天：絕緣材料，電子元件等表面涂覆前處理；
電子：線路板的清洗和蝕刻。膠片，PP等材料的無氧化和活化處理，改進(jìn)可焊性；
半導(dǎo)體行業(yè)：晶圓加工及處理去除光刻膠，封裝前預(yù)處理；
LED：支架清洗封裝前預(yù)處理；
塑料橡膠：提高PS，PE，PTFE，TPE，POM，AS和PP等材料表面活性，使其利于粘接，印刷。
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